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用激光对集成电路进行失效分析
2005/4/12/11:0来源:中国激光网
用于修整集成电路的低功率Nd:YAG激光器已成为半导体工业中的一个 普通工具。将Nd: YAG激光器装在分析接触的探测台上(见图1),对新的和重新 启用的集成电路进行失效分析,通过切割故障元件和其它线路之间金属连线,将 故障元件隔离起来。激光还用来去除线路上面的钝化层,为线路中金属连线、接 点间的连接提供通道。激光还可用来在含有绝缘体夹层和金属层在内的多层线路 上打孔,允许为隐藏的线路通道制作电接触。
图1.安装在Micromanipulator的分析探测台(型号4060)上的激光切割机。
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