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一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台，包括：激光刻写仪器，用于在待刻写玻璃刻写光栅尺；X轴粗动直线轴，用于光栅尺刻写时，使玻璃在X轴方向上做扫描运动；RZ微动旋转轴，安装于X轴粗动直线轴上，用于对X轴粗动直线轴运动产生的误差进行补偿；Y轴粗动轴，用于光栅尺刻写时，带动激光刻写仪器进行运动；RXYZ微动轴，用于对X轴粗动直线轴、Y轴粗动轴运动产生的误差进行补偿，使用了光栅尺与激光干涉仪相结合的反馈方式，使得平台自身的精度大大提高了；且增加了XY方向上的行程，使得生产的光栅尺长度增加了；X轴、R
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210402009 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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