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注:电子行业包含很多行业,半导体行业、电子元件行业(其中包括电容器、电阻器、电
、平板显示器行业感器、电位器、电咖半导体行业废力敏研究) (其中包括皿皿和
、平板显示器行业
一、 废水来源
在制备品圆时,需要使用超纯水冲洗,无机药剂需要用到盐酸、氨水、硫酸和氢氟酸,有 机 药剂需要用到光阻剂:乙酸丙二醇单甲基醚酯PGMEA(C6H1203)和乳酸乙酯EL (C5H1003);显影剂:氢氧化四甲基铵TMAH (。/小。);去光阻剂:一甲基-2-比喀
NMP(C5H9NO);光阻制程用药:酚(C6H60);晶片干燥过程用药:异丙醇IPA (C3H8O )。在使用药剂的过 程中就会产生废水。
二、
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