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本实用新型提供了冷却效果好的真空沉积炉的抽真空冷却装置。包括连接在沉积炉出气口的出气管一、一级冷却塔、二级冷却塔、真空泵以及出气管二，所述一级冷却塔有两个，所述二级冷却塔有两个，所述真空泵有三个，两个所述一级冷却塔通过支管一与出气管一连通，两个所述二级冷却塔分别连接在两个一级冷却塔后，三个所述真空泵通过支管二连接在同一出气管二上。本实用新型中，真空泵将沉积炉中的热气从出气管一中抽出，依次经过以及冷却塔和二级冷却塔的冷却，排出。在出气管一中设螺旋冷却管，在冷却管中不间断加入冷却液，对进入出气管一中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210400009 U
(45)授权公告日
2020.04.24
(21)申请号 20192
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