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本发明公开了连续式芯片洗涤技术领域的一种连续式芯片洗涤装置,包括与外界进行固定的中心轴,中心轴外端转动连接有圆棍,沿圆棍轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆,每个第一弹簧杆母杆端头均固定设置在圆棍上,远离圆棍的每个第一弹簧杆母杆端头均固定连接有清洗槽,清洗槽外端大下端小,每个第一弹簧杆伸长杆均穿过清洗槽底端;本发明有效解决了常规的超声波清洗模块中,清洗剂需要进行长时间的使用,从而造成清洗剂中杂质越来越多,随着清洗剂一起震动,再清洗剂中进行快速无规则移动,一方面可能会造成划伤芯片的问题,另外一方面会消
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115301626 A
(43)申请公布日 2022.11.08
(21)申请号 202210772019.2 B08B 13/00 (2006.01)
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