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微电子技术试验指导书
半导体电阻率测试试验工程
验〔证性试验 ；试验 学 时 2 h 〕
1 、 试验说明
半导体材料用于器 生产时往往必需按要求掺杂，对掺杂的浓度、均匀性有严格的要求，它的掺杂性能对加
工成的成品质量关系重大，必需严格把握与检测。掺杂后的的半导体电阻率变化是反映其掺杂状况的一个重要指
标 ，所以在半导体生产工艺或在开发争论中必需把握其测试方法。一般测试中多承受四探针法，结合相应 的算
法 ，进展半导体体电阻率的测量。
本试验学习利用专
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