- 1、本文档共16页,其中可免费阅读15页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开一种半导体工艺设备及其压环组件、聚焦环,所公开的压环组件用于压盖位于半导体工艺设备的承载装置上的晶圆,所述压环组件包括压环本体和第一导向部,所述第一导向部环设于所述压环本体的底壁,所述第一导向部凸出于所述底壁,所述底壁具有第一压边,所述第一压边与所述第一导向部连接,且向所述压环本体的中心方向延伸,所述第一导向部的朝向所述第一压边的一侧具有第一导向斜面,所述第一导向斜面用于与所述晶圆的边缘导向配合。上述方案可以解决相关技术中的半导体工艺设备在对晶圆进行工艺时,由于晶圆的中心与晶圆承载
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219658674 U
(45)授权公告日 2023.09.08
(21)申请号 202320670471.8
(22)申请日 2023.03.30
(73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公
您可能关注的文档
- 抽屉滑轨联动锁、多层互锁抽屉滑轨及防倾倒抽屉柜.pdf
- 基于锡膏印刷用的温湿调节装置及温湿调节机.pdf
- 一种PCBA板生产用PCBA板放置装置.pdf
- 一种婴儿背带腰凳.pdf
- 一种水利管道安装辅助支架.pdf
- 一种方形电池.pdf
- 一种防过热的导体加热装置.pdf
- 一种芯片针脚焊接装置.pdf
- 一种充气式腰痛康复器.pdf
- 一种PVC墙纸.pdf
- 全国青少年(毒品预防教育)知识考试题库与答案 .pdf
- 2023年山东胶州市领军计划自主招生历史试题真题(含答案详解) .pdf
- 【人教版八年级生物】第六单元 第二章 认识生物的多样性 .pdf
- 冀人版-第三单元 电(提升卷)-四年级科学上册单元培优进阶练.docx
- 新郑市事业单位统考真题 .pdf
- 冀人版-第三单元动物的生长与繁殖(单元测试)四年级下册科学.docx
- CLCN4基因变异相关癫痫的临床表型及基因变异特点 .pdf
- 【《“双减”背景下小学中年级语文自主阅读策略探究》6500字】 .pdf
- 高一语文开学第一课+课件+2024-2025学年统编版高中语文必修上册 .pdf
- 密山市事业单位统考真题 .pdf
文档评论(0)