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本实用新型属于真空镀膜机技术领域,涉及一种重载自锁型伺服电动缸,其包括于机架及辅助导向机构,所述机架的上方设有伺服电机,所述伺服电机的输出端设有行星减速机,所述行星减速机的输出端设有传动箱,所述传动箱的安装在机架上,所述机架的内部设有自锁丝杠,所述自锁丝杠的左端与传动箱连接,所述自锁丝杠上套设有一体式活塞螺母,一体式活塞螺母的外侧与辅助导向机构连接,所述一体式活塞螺母上还设有活塞杆;该产品在光伏行业的真空镀膜机上已经广泛的批量使用;使得该设备有了一个突破性的发展,从而实现了批量化的国产替代进口;
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219659528 U
(45)授权公告日 2023.09.08
(21)申请号 202321331081.4
(22)申请日 2023.05.29
(73)专利权人 中村精机(无锡)有限公司
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