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本公开提供一种芯片扩散用片源放置结构及系统，属于芯片扩散设备技术领域。该芯片扩散用片源放置结构具有支撑面和扩散斜面；支撑面和扩散斜面相对设置；扩散斜面倾斜设置并与支撑面呈角度设置；扩散斜面均匀隔设有多个用于放置片源的舟槽；舟槽的尺寸大于片源的尺寸以使片源活动插设于舟槽，以实现所有的片源在其自身重力作用下均朝向同一侧倾斜以垂直于扩散斜面；舟槽的槽长方向沿第二方向延展，舟槽的槽宽方向沿扩散斜面的倾斜方向延展，舟槽的槽深方向垂直扩散斜面。本公开使相邻片源的间距相同，确保扩散气流能够均匀的充满每个片源的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219658724 U
(45)授权公告日 2023.09.08
(21)申请号 202321332218.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2023.05.29
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