高精度纳米定位平台.docx

08.06.2018 08.06.2018 高精度纳米定位平台 具有极其准确的导向的高动态稳定型压电陶瓷扫描器 P-752 分辨率0.1纳米 快速响应 行程达35微米 电容式传感器带来最高线性度 无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 应用领域 扫描显微镜 测量技术 测试程序和质量保证 光子 光纤定位 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 直接位置测量带来最大精度 运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。 主动轴P-752.11C 主动轴 P-752.11C X P-752.1CD X P-752.21C X P-752.2CD X 单位 公差 运动和定位 集成传感器 电容式 电容式 电容式 电容式 -20至+120伏时的开环行程 20 20 35 35 微米 +20 % / - 行程，闭环 15 15 30 30 微米 0 % 分辨率，开环/闭环 0.1 0.1 0.2 0.2 纳米 典型值 线性误差，闭环 0.03 0.03 0.03 0.03 % 典型值 典型值 重复精度 ±1 ±1 ±2 ±2 纳米 ，全行 程 螺距/偏转角 ±1 ±1 ±1 ±1 微弧度 典型值 机械特性 运动方向上的刚性 30 30 20 20 牛/微米 ±20 % 谐振频率，空载 3200 3200 2100 2100 赫兹 ±20 % 带300 克负载时的谐振频率 980 980 600 600 赫兹 ±20 % 运动方向上的推/拉力 100 / 10 100 / 10 100 / 10 100 / 10 牛 最大 负载容量 30 30 30 30 牛 最大 驱动特性 陶瓷类型 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAP-885 电容 2.1 2.1 3.7 3.7 微法 ±20 % 其他 工作温度范围 -20 到 80 -20 到 80 -20 到 80 -20 到 80 °C 材料 钢 钢 钢 钢 尺寸 66 毫米 × 40 毫米 66 毫米 × 40 毫米 84 毫米 × 40 毫米 84 毫米 × 40 毫米 质量× 13.5 毫米0.25× 13.5 毫米0.25× 13.5 毫米0.35 质量 × 13.5 毫米 0.25 × 13.5 毫米 0.25 × 13.5 毫米 0.35 × 13.5 毫米 0.35 千克 ±5 % 电缆长度 1.5 1.5 1.5 1.5 米 ±10 毫米 传感器/电压连接 LEMO Sub-D 7W2（公头） LEMO Sub-D 7W2（公头） E-505、E-610、E- E-505、E-610、E- E-505、E-610、E- E-505、E-610、E- 推荐电控 625、E-665、E- 625、E-665、E- 625、E-665、E- 625、E-665、E- 754 754 754 754 询问定制版本。 图纸/图片 P-752.2.xx，尺寸单位为毫米 P-752.1.xx，尺寸单位为毫米 P- 752.11C以3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见。控制器 ：E-501.00、E-503.00、E-509.C1；伺服控制设置：240赫兹带宽。 订购信息 P-752.11C 高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 P-752.1CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 P-752.21C 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 P-752.2CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器