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提供晶片清洗装置,能够使海绵的更换作业变得容易,并且在清洗中海绵的角部不会出现缺损。晶片清洗装置(1)具有:晶片保持单元(20),其对晶片(W)进行保持;海绵保持单元(30),其对海绵(10)进行保持;以及移动单元(50),其使晶片保持单元(20)和海绵保持单元(30)相对地在晶片(W)的面方向上移动,海绵保持单元(30)具有:基台(31),其具有收纳海绵(10)的凹部(313);以及夹持单元(33),其使收纳于凹部(313)的海绵(10)的宽度(L)变窄而进行夹持,从而形成呈凸状弯曲的清洗面(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109768000 A
(43)申请公布日
2019.05.17
(21)申请号 20181
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