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一种基于晶圆传送用机械臂.pdfVIP

一种基于晶圆传送用机械臂.pdf

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    本实用新型属于机械臂技术领域，尤其为一种基于晶圆传送用机械臂，包括伸缩杆，所述伸缩杆的输出轴上架设有第一转架，所述第一转架异于伸缩杆的一端上表面通过转轴架设有第二转架，所述第二转架的另一端上表面通过转杆架设有第三转架，所述第三转架的一端一体成型有夹持片，所述第一转架、第二转架与第三转架的上表面均嵌合放置有水平仪；滚珠在重力的调节下在水平仪的内部滚动，显示机械臂的倾斜角度，工作人员可以通过转动调节螺栓来改变延伸板的高度，压力弹簧通过自身的弹力使得延伸板抬升，进而使得伸缩杆保持竖直。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210335945 U (45)授权公告日 2020.04.17 (21)申请号 20192

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