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可提供一种半导体封装,所述半导体封装包括:第一半导体器件;第二半导体器件,位于所述第一半导体器件上;以及焊料球,位于所述第一半导体器件与所述第二半导体器件之间。所述第一半导体器件,包括:衬底;绝缘层,位于所述衬底上且包括沟槽;至少一个通孔结构,穿透所述衬底且突出在所述沟槽的底表面上方;以及导电结构,在所述沟槽中环绕所述至少一个通孔结构,且其中所述通孔结构与所述焊料球直接物理接触。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116705737 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310693840.X (51)Int.Cl .
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