原创力文档- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种入射增强的超晶格红外探测器及其制备方法，超晶格红外探测器包括：红外材料，红外材料包括衬底和外延材料，所述外延材料设置在所述衬底上；互联结构；读出电路芯片，所述读出电路芯片通过所述互联结构与所述外延材料相连接；以及抗反膜，所述抗反膜设置在所述衬底的与所述外延材料相对的另一侧，所述抗反膜上设置有多个凹陷。根据本发明实施例的入射增强的超晶格红外探测器及其制备方法，通过在抗反膜上设置两种厚度，增强了对于两种波长红外信号的入射效果，以低成本的方式提升了超晶格红外探测器对于红外辐射的吸收量，提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116705805 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310966805.0 H01L 31/101 (2006.01)
文档评论（0）