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本发明涉及光通信激光器技术领域,提供了一种混合波导结构EML激光器的制作方法,包括如下步骤:S1,生长外延结构;S2,在所述外延结构的上表面划定LD激光器区和EA电吸收调制器区;S3,在所述LD激光器区制作掩埋异质结结构,在所述EA电吸收调制器区制作脊波导结构,所述掩埋异质结结构和所述脊波导结构一体成型制得。还提供一种混合波导结构EML激光器,包括掩埋异质结结构和脊波导结构,所述掩埋异质结结构和所述脊波导结构一体成型。本发明采用两种波导一体成型,避免两种波导的套刻偏差造成出光效率差问题,不需要高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116706673 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310982688.7
(22)申请日 2023.08.07
(71)申请人 武汉云岭光电股份有限公司
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