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本发明提供激光照射装置,其以简单的装置结构实现高生产率。激光照射装置的激光照射单元包含:激光光源,其射出激光;空间光调制器,其根据相位图案对从激光光源射出的激光进行调制而射出;以及成像装配体,其将通过空间光调制器进行了调制的激光成像而照射至板状物。控制器具有:相位图案存储部,其存储多个相位图案,当该多个相位图案显示于空间光调制器时,在板状物的面内激光所照射的位置相互不同;以及相位图案控制部,其将显示于空间光调制器的相位图案切换成相位图案存储部所存储的多个相位图案中的规定的相位图案。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116689945 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310179489.2
(22)申请日 2023.02.27
(30)优先权数据
2022-033624 202
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