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本发明公开了一种电子级硅烷中重组分杂质分析方法及其分析设备，包括如下步骤：步骤1，通过抽气装置将检测器的进气管路抽真空，向检测器内通入高纯度氦气，将上次样品残余气体排出，然后将电子级硅烷标准气体分别充入气相色谱仪内的三个定量管中；步骤2，以高纯度氦气作为载气，将三个定量管中的样品送入气相色谱仪，通过控制气相色谱仪内的六个气驱动阀与四个色谱柱，排出电子级硅烷中的杂质气体，提纯样品气体；步骤3，将高纯度氦气送入纯化器进行提纯后通入检测器内，将经过分离系统提纯后的电子级硅烷样品送入检测器内，进行杂质含
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116699051 A
(43)申请公布日 2023.09.05
(21)申请号 202310438853.2
(22)申请日 2023.04.23
(71)申请人 北京高麦克仪器科技有限公司
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