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本实用新型公开了一种晶圆腐蚀抛动机构,包括,升降气缸固定座,所述升降气缸固定座固定设置在抛动机构前板的上端,所述升降气缸固定座下端固定连接升降气缸,所述升降气缸的下端固定连接抛动电机固定座,所述抛动电机固定座上端固定连接抛动电机,所述抛动电机的输出端连接抛动偏心轮,所述抛动偏心轮通过转轴与抛动臂连接,所述抛动臂与产品固定座固定连接,所述抛动臂与抛动滑块固定连接,抛动滑块与抛动导轨滑动连接,所述抛动机构前板的正面可拆卸安装有抛动机构检修口,所述抛动电机固定座滑动连接升降导轨,所述升降导轨固定设置在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210304821 U
(45)授权公告日
2020.04.14
(21)申请号 20192
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