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本实用新型涉及一种晶圆料盒料箱清洗装置,它包括机体,所述机体内设置有密封腔室,为清洗室;所述清洗室内中间设置有旋转笼,旋转笼通过旋转机构旋转安装在机体上,旋转笼上沿着旋转笼一周圈均匀分布设置有若干晶圆料盒和/或晶圆料箱的放置架;所述清洗室内设置有喷淋清洗装置构、液切机构;所述喷淋清洗装置构从旋转笼中心、外周以及上下两侧依次向旋转笼喷淋纯水、药液;所述液切机构从旋转笼中心、外周以及上下两侧向旋转笼喷射氮气;所述纯水为温度小于等于90℃的纯水,所述药液为预备药液对晶圆料盒和/或晶圆料箱进行全方位的清
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210279981 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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