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题目： 共振光栅滤波器设计与仿真
Title: design and simulation of resonant grating filter
I
摘要
在衍射光学元件中亚波长光学元件具有其他的光学元件没有的特点，因为亚波长光栅具有窄带宽，结构简单，高衍射效率等等的特点，现阶段随着我们制作工艺的提升以及研究水平的提升，我们对于亚波长光栅的应用也是越来越广泛，在关于亚波长的应用研究中大部分就是对滤波器进行的研究。本文主要工作是：
1. 对衍射光栅和亚波长光栅的历史背景和应用做了一个详细介绍。
2.介绍等效波导理论以及我们现阶段常用的亚波长光栅的制备方法，比如全系曝光法，电子束蚀刻，X-射线蚀
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