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本实用新型公开了一种高产能1600片五管低压扩散设备,包括主机,所述主机的正面通过合页铰接有主机门,所述主机的左侧设置有气源柜,并且主机的右侧设置有密封炉,所述密封炉的右侧设置有低压密封门,并且密封炉的内部设置有工艺管,所述低压密封门的中部且位于工艺管的右端设置有入料口,本实用新型涉及低压扩散炉技术领域。该高产能1600片五管低压扩散设备,通过主机的左侧设置有气源柜,并且主机的右侧设置有密封炉,密封炉的右侧设置有低压密封门,通过紧凑的结构形式省掉了每台设备的预留控制,相当于现在的两台设备只需要原
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210287585 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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