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本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法,微镜结构包括:设于衬底上的微桥结构,所述微桥结构包括支撑及电连接柱,和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面;所述微桥桥面上设有微镜镜面,所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接,所述支撑及电连接柱电连接所述衬底,所述微镜镜面受驱动时,带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。本发明能够显著降低微镜的吸合电压,并可降低器件的工作电压。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116679443 A
(43)申请公布日 2023.09.01
(21)申请号 202310694444.9
(22)申请日 2023.06.12
(71)申请人 中国科学院上海技术物理研究所
地址
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