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本实用新型公开了一种碳化硅片的检测装置，包括滑动安装于机架上的升降座，该升降座由升降动力装置驱动，该升降座上设置有安装板，该安装板上设置有若干各个等间距且平行设置的片材PCB板，位于片材PCB板的外侧设置有花篮PCB板，相邻的片材PCB板之间间隙方便碳化硅片的插入，该片材PCB板和花篮PCB板的结构相同，片材PCB板和花篮PCB板上均设置有相连的反射式光电传感器、单元机和稳压器。另外本实用新型还公开了使用该检测装置的方法，通过升降动作使片材插入到间隙中，然后利用反射式光电传感器接收到的反射光线来
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210294090 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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