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本实用新型涉及一种用于气相沉积炉的搅拌进气装置,包括进气组件、驱动组件、传动组件和搅拌组件;进气组件包括进气管A和固定套,进气管A安装在固定套侧壁上;驱动组件与传动组件连接;传动组件包括中空转轴,中空转轴插装在固定套中的端部侧壁上开有多个进气孔,其上端与搅拌组件的进气管B的下端连接;搅拌组件包括在进气管B和安装在进气管B端部的搅拌风扇。碳源气体从进气管A进入,经过中空转轴进入进气管B中,进气管B的顶端出口伸入沉积室中,气体经过进气管B进入沉积室内,搅拌风扇匀速旋转,使气体均匀的向沉积室各个方向分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210287520 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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