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本实用新型公开了一种工艺制程槽槽盖自动开合装置,属于半导体制造领域。该装置包括箱体、动力机构、连接块、传动轴、连接板和槽盖。箱体设置在槽体后方并与槽体在水平方向上间距一定距离,动力机构和连接块设置在箱体内,动力机构能够沿着竖直方向上下移动;连接块的第一端与动力机构的下端铰接,第二端与传动轴固定连接;传动轴的两端伸出箱体并与连接板连接,连接板与槽盖连接;连接块的第一端的高度高于第二端的高度,连接块的第一端与槽体的水平间距大于第二端与槽体的水平间距。本实用新型可以实现槽盖自动打开和关闭动作,自动化程
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210280009 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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