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本实用新型实施例提供了一种数字微流控基板及数字微流控芯片,涉及微流控技术领域。本实用新型实施例通过在第一基板上设置驱动晶体管和驱动电极,且驱动晶体管的漏极和驱动电极同层设置且一体成型。在制作驱动晶体管的漏极时,可同时制作得到与漏极同层设置且一体成型的驱动电极,使得在制作数字微流控基板时,可减少了两次沉积、两次曝光和两次刻蚀工艺以及减少两张掩膜板的使用,使得数字微流控基板的制作工艺更为简单,制作成本大大降低;且无需形成过孔跳线,提高了驱动电极的平坦度,有利于液滴的驱动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210279192 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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