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本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种光罩传送装置。所述光罩传送装置包括:承载部,用于承载光罩;吹扫部,设置于所述承载部的上方,用于向位于所述承载部上的所述光罩进行气体吹扫,以去除所述光罩表面的颗粒物。本实用新型确保了所述光罩表面的清洁,避免曝光时晶圆上光刻胶图案产生缺陷,提高了产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210270509 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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