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本实用新型公开了一种CVD下部电极结构,包括基体、设于基体上的框架和玻璃,所述基体设有导向孔,所述结构还包括与框架贴合接触且可对沿导向孔升降的升降部件进行导向的遮蔽导向部件,所述玻璃设于框架与遮蔽导向部件上。本实用新型通过对基体导向孔附近的边框改造,通过遮蔽导向部件的设置,一方面起到遮蔽作用,使得上部向下流动的沉积气体不会进入到边缘导向孔内部缝隙空间去,不会造成边缘放电,另一方面,由于台阶孔的设置,在玻璃加载上升和卸载下降的过程中,可以起到一定导向作用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210261991 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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