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波导特征阻抗
波导特征阻抗=等离子体负载
阻抗。
微波等离子体
微波等离子体反应器特点：
微波：为交流能量(信号)，通过波导传输，每一种波导
具有一定的特征阻抗
(射频传输线理论)
等离子体的反应器：本质上是具有一定阻抗的负载。
微
微波等离子体工作要求：
微波反射波能量将至最低。
微波等离子体反应器发展：
小尺寸共振腔----表面波长细等离子体---大面 积(体积)表面波等离子体。
微波等离子体反应器结构：
⊙单模谐振腔
谐振腔尺寸: R = 入, d = 入 (谐振条件)
阻抗匹配: 好，可以不设置附加匹配。 激励电场
单模(单一本征模)
方向：图中电场沿轴向。
状态：驻波
缺
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