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本实用新型是关于一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具,其包含:能分离地叠合的两放置架,各放置架包含外环壁、放置单元及防呆部,放置单元排列受外环壁围绕,各放置单元包含周壁及周壁围成的容置空间,防呆部包含多个卡合凸块,其凸设在外环壁,卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合;为改善现有的技术晶圆清洗装置的缺失,实用新型的防呆部能和传动装置相卡合,避免放置架在受传动装置输送时滑移或晃动,提升放置架的输送稳定度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210272284 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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