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本实用新型公开了一种氟化氢尾气处理系统,包括沿着氟化氢尾气流动方向通过管线依次连接的干燥机、吸脱附装置、冷凝器和储液罐,吸脱附装置的出气管线分成两路,一路为吸附管线用于外接净化气管道,另一路为脱附管线用于连接冷凝器;其中,吸脱附装置包括至少两个并联设置的吸脱附塔;每一个吸脱附塔内设置有氟化氢吸附剂,氟化氢吸附剂下方设有电加热器;本实用新型通过对含有氟化氢尾气中的氟化氢进行吸附,去除尾气中的氟化氢,再通过将氟化氢吸附剂进行加热使其脱附,脱附后的氟化氢气体经过冷却、冷凝变为液体存储于储液罐中,实现氟
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210251808 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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