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本发明提供了一种温度补偿型声表面波谐振器及其制备方法，属于TC‑SAW滤波器技术领域。本发明提供了一种温度补偿型声表面波谐振器，包括依次层叠设置的衬底层、叉指电极金属层、第一温度补偿层、悬浮金属层和第二温度补偿层，所述悬浮金属层的宽度为所述温度补偿型声表面波谐振器的波长的0.6~1倍。本发明利用悬浮金属层的横向结构变化，悬浮金属层的宽度随谐振器变迹区域的连续波长变化而变化，通过改变叉指电极指条末端的质量加载效应，使指条末端区域与中间区域产生声速差，形成更好的杂波抑制效果从而来提高谐振器和滤波器的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116667808 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310960840.1
(22)申请日 2023.08.02
(71)申请人 深圳新声半导体有限公司
地址 5
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