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本发明属于减薄抛光技术领域,具体为一种晶圆减薄用抛光装置,现有技术中的装置在使用时,只能晶圆的一个位置处进行喷洒抛光液,使其在晶圆表面不均匀,降低了抛光的效果;包括底板,所述底板上固定安装有U框联板,U框联板上设有安装板,安装板与U框联板之间通过螺栓连接设置;所述安装板上固定安装有联动电机,联动电机的输出端上安装有联动方块,联动方块与海绵轮上设有的联动方槽连接设置;所述底板上对称安装有联动夹板,通过角位控节机构,使得喷头转动而改变喷洒的角度,进一步提升了喷洒的范围,避免喷洒时存在死角,在配合上圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116652796 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310784884.3 B24B 47/22 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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