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本发明提供一种LED外延片的剥离方法及剥离装置，通过对剥离装置的统一设计，主要由耐酸碱浸泡缸、加热模块、温度控制器、蠕动泵以及用于连接蠕动泵和耐酸碱浸泡缸上进液组件及出液口的PE软管，共同组成了用于剥离LED外延片的LED外延片的剥离装置，并配合统一的剥离方法采用药液冲洗剥离手段，相比于目前通过如激光剥离或打磨调整方式所运用的高精度仪器，本发明使用成本低且操作便捷。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116666264 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310397978.5
(22)申请日 2023.04.14
(71)申请人 江西兆驰半导体有限公司
地址 3
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