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本实用新型公开了一种超纯氮纯化装置，包括两个原料气供给系统、纯化系统以及产品气充装系统，两个原料气供给系统并联连接至纯化系统，每个原料气供给系统包括设于集装格中的若干储气瓶，产品气充装系统包括若干充气瓶，纯化系统包括分子筛过滤单元和碱性洗涤单元，分子筛过滤单元包括一级或串联设置的至少两级过滤器，碱性洗涤单元包括一级或串联设置的至少两级容置有碱性洗涤液的第一洗涤塔。本实用新型通过设置分子筛过滤单元，可以脱除原料气中的水、氧气以及二氧化碳，通过设置碱性洗涤单元，可以进一步洗去原料气中的二氧化碳，原料
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210251543 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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