薄膜光学参数测试详解课件.ppt

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“光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室“电子薄膜与集成器件”国家重点实验室.Schl. of Optoelectronic Inform.State Key Lab. of ETFID薄膜光学参数的测量p 从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数p 其它的薄膜光学常数测试方法p 薄膜波导法p 光学薄膜厚度的测试 “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室“电子薄膜与集成器件”国家重点实验室.Schl. of Optoelectronic Inform.State Key Lab. of ETFID一、从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数l 透明薄膜的光学常数测试l 弱吸收薄膜光学常数的确定

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