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本实用新型提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置,所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统,采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶,可根据需求对控制系统设置相应参数,精确控制蠕动泵的运行、停止时间,循环次数,反应容器内温度,从而自动地、准确地、高效地、节省人力地制备高质量的薄膜材料,具有合成速度快、制备效率高、反应温度可控、薄膜厚度可控、成本低以及操作简单等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210261614 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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