平面度检测装置和激光切割设备.pdfVIP

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本实用新型涉及一种平面度检测装置和激光切割设备。该平面度检测装置用于检测加工平台的平面度,包括:基台、桥架、X轴运动单元、Y轴运动单元、位移传感器及控制系统,所述桥架设于所述基台上,所述X轴运动单元设于所述基台,用于带动所述加工平台沿X方向移动,所述Y轴运动单元设于所述桥架,用于带动所述位移传感器沿Y方向移动,所述控制系统用于控制所述X轴运动单元和所述Y轴运动单元分别移动设定位移,以使所述位移传感器能够依次测试出所述加工平台上的多个测量点到所述位移传感器的距离,且所述控制系统能够对测试数据进行处

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210242715 U (45)授权公告日 2020.04.03 (21)申请号 20192

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