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当前第31页\共有56页\编于星期六\14点 压缩式真空计 H.G.麦克劳 1874年 Ｕ形管真空计 1647年后 第三节、真空度的测量 当前第32页\共有56页\编于星期六\14点 电阻式真空计 1906年 M.皮喇尼 热偶式真空计 热阴极电离真空计 1916年 O.E.巴克利 冷阴极电离真空计 1937年 F.M.潘宁 BA式电离真空计 1950年 R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特 当前第33页\共有56页\编于星期六\14点 直接测量气体压力不易，利用测定低气压下与压强有关的某些物理量，再变换后确定压强。 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内最显著，任何方法都有测量范围，这个范围就是真空计的“量程” 没有一种真空计能够测量从大气到10-10Pa的整个领域的真空度 当前第34页\共有56页\编于星期六\14点 当前第35页\共有56页\编于星期六\14点 一、电阻真空计 定义：利用测定热丝电阻值随温度变化的真空计 当前第36页\共有56页\编于星期六\14点 工作过程：真空度↑→气体分子↓→Q↓分子从热丝上带走热量→热丝温度↑→热丝电阻R↑，可以归纳出R↑→真空度↑ 当前第37页\共有56页\编于星期六\14点 电阻真空计的测量范围为105~10-2Pa。由于是相对真空计，所测压强对气体的种类依赖性较大，其校准曲线是针对干燥的氮气或者空气的，所以被测气体成分变化较大，则对测量结果要做一定的修正。另外长时间使用后，容易因氧化而产生零点飘移，所以要避免长时间接触大气或在高压下工作。 当前第38页\共有56页\编于星期六\14点 热量的传递不仅仅与压强有相互关系，同时与气体的摩尔量和分子结构有关系。 不同的气体会导致压力测量时得出不同的结果。 在一般情况下，当现有的气体的原子或者分子越大，热传导的能力或者效率越低。 当前第39页\共有56页\编于星期六\14点 二、热偶真空计 当前第40页\共有56页\编于星期六\14点 第一章真空技术基础演示文稿 当前第1页\共有56页\编于星期六\14点 优选第一章真空技术基础 当前第2页\共有56页\编于星期六\14点 十七世纪用抽水泵它来排除矿井中的积水，无法将水抽到10米以上的高度 伽利略（1564－1642） 物理學家、數學家、天文學家及哲學家 “真空力” 托里拆力 （1608～1647） 物理学家、数学家 水银真空试验 辈尔梯 数学家、天文学家 水真空试验 （当时未成功） 托里拆力试验 当前第3页\共有56页\编于星期六\14点 在20世纪初，真空技术获得了飞速发展，被广泛应用于军事及民用领域。同样，真空技术也是薄膜制备的基础。 本章将对真空的基本知识、真空的获得、真空的测量等基础知识进行介绍。 当前第4页\共有56页\编于星期六\14点 几个基本概念： 真空：气体分子数量低于大气压状态的空间。但不是完全空的。 真空术语： 本底真空度：全密封真空腔体内抽空时的气压。 工作真空度：实验或工艺过程中所必需的气体压力。 极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达 到的最低气压。 真空规：测量真空中气压的仪表或传感器。 真空度单位：气压的单位。 真空度就是真空中的气压。真空度的测量就是气压的测量。 当前第5页\共有56页\编于星期六\14点 表1 几种压强单位的换算关系 单位 帕（Pa） 托（torr） 毫巴（mba） 标准大气压（atm） 1Pa 1 7.5×10-3 1×10-2 9.87×10-6 1torr 133.3 1 1.333 1.316×10-3 1mba 100 0.75 1 9.87×10-4 1atm 1.013×105 760 1.013×103 1 第一节 、真空的基本知识 一、表示真空程度的单位 当前第6页\共有56页\编于星期六\14点 二、真空区域的划分 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 粘滞流 粘滞流 分子流 分子流 当前第7页\共有56页\编于星期六\14点 气体吸附：固体表面捕获气体分子的现象 物理吸附：没有选择性、主要靠分子之间的吸引力、容易发生脱附、一般只在低温下发生 化学吸附：在较高温度下发生、不容易脱附，只有气体和固体表面原子接触生成化合物才能产生吸附作用。 气体脱附：是吸附的逆过程。 影响因素:气体压强、固体温度、固体表面吸附的气体的密度和固体本身的性质（如表面光滑度、清洁度等）、以及电吸附、化学吸附作用的影响。 三、固体对气体的吸附及气体的脱附 当前第8页\共有56页\编于星期六\14点 表1-2 几种常用真空泵的工作压强范围 真空泵 工作压强/Pa