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本实用新型公开了一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器,包括基底电路层,所述基底电路层上设置有电连接的光敏器件层,所述光敏器件层上设置有滤光结构层,所述滤光结构层上设置平坦层;所述滤光结构层由纳米盘阵列组成,所述纳米盘阵列包括多个子阵列,各子阵列包括多个纳米盘,相同子阵列内的纳米盘具有相同的直径和周期,不同子阵列中的纳米盘具有不同的直径和周期。利用氢化非晶硅纳米盘结构实现了彩色滤光,兼容异质基底上以及CMOS工艺,可在现有CMOS图像晶圆上沉积薄膜,制备工艺简单,非晶硅纳米盘结构利用的是米氏散射实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210200735 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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