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2023-08-23 发布于北京
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一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法.pdf

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本发明公开了一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法。本发明采用DMD对窄带宽R、G、B照明光场进行振幅调制并投影到待测多层结构表面，测量过程中，通过压电陶瓷纵向扫描待测物体，经结构调制的反射光由彩色相机采集。计算过程中，从采集图像中解析出不同扫描位置处的调制度分布，同时从彩色图像中反演出初始厚度信息，最终根据成像颜色以及调制度信息，建立信息融合迭代测量模型，从而实现薄层图形微纳结构的三维重构。本发明与现有单一调制度信息测量方法相比，具有更高的测量精度、厚度分辨率和抗噪能力，与干涉

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116625275 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310344545.3 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人东莞理工学院地址 523000

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