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碱性蚀刻制程讲义
目 录
一、 碱性蚀刻流程
二、 为什么要蚀刻
三、 碱性蚀刻制程需求
四、 制程及产品介绍
五、 特性及优点
六、 制程控制
七、 洗槽及配槽程序
八、 问题及对策
九、 信赖度测试方法
十、 药水分析方法
一、碱性蚀刻流程
剥膜→水洗→蚀刻→子液洗→水洗→剥锡→水洗→烘干
二、 为什么要蚀刻
将基板上不需要的铜,以化学反应方式予以除去,以形成所需要的电路图形
三、 蚀刻制程需求
1. 适宜的抗蚀剂类型
2. 适宜的蚀刻液类型
3. 可实现自动控制
4. 蚀刻速度要快
5. 蚀刻因子要大,侧蚀少
6. 蚀刻液能连续运转和再生
7. 溶铜量要大,溶液寿命长
四、 制程及产品介绍
PTL-503B 为全溶碱性蚀刻液,适用于图形电镀金属抗蚀层,如镀覆镍.金.
锡铅合金.锡镍合金及锡的印制电路板蚀刻
1. 剥膜
成份:NaOH
功能:剥除铜面上之干膜,露出底层铜面
特性:强碱性,适用于水平及垂直设备
2. 碱性蚀刻
主要成份:NH H O NH Cl Cu(NH ) Cl
3 2 3 3 4 2
①. Cu(NH ) Cl :具 有 蚀 刻 能 力 , 与 板 面 Cu 反 应 , 生 成 不 具 蚀 刻 能 力 之
3 4 2
Cu(NH ) Cl,在过量氨水和氯离子存在的情况下,Cu(NH ) Cl 很快被空气
3 2 3 2
氧化生成具有蚀刻能力之 Cu(NH ) Cl
3 4 2
②. NH .H O:提供蚀刻所需之碱性环境,并与 NH Cl 一道完对 Cu(NH ) Cl 之
3 2 4 3 2
氧化再生
③. NH Cl:提供再生时之 Cl-
4
反应原理: Cu+Cu(NH ) Cl →2Cu(NH ) Cl
3 4 2 3 2
2Cu(NH ) Cl+2NH Cl+2NH OH+O →2Cu(NH ) Cl +2H O
3 2 4 4 2 3 4 2 2
Cu+2NH Cl+2NH OH+O →Cu(NH ) Cl +2H O
4 4 2 3 4 2 2
3. 剥锡铅:PTL-601D/605 PTL-602A/602B
1
功能:剥除线路板表面锡金属抗蚀层,露出线路板之铜面,并保持铜面之光泽
主要成份:HNO
3
①. 双液型:PTL-602A/602B
1
A. A 液
a. 氧化剂:用以将 Sn/Pb 氧化成 PbO/SnO
b. 抗结剂:将 PbO/SnO 转成可溶性结构,避免饱和沉淀
c. 抑制剂:防止 A 液咬蚀锡铜合金
B. B 液
a. 氧化剂:用以咬蚀铜锡合金
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