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氮化铝陶瓷退火匣钵.pdfVIP

氮化铝陶瓷退火匣钵.pdf

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    本实用新型公开一种氮化铝陶瓷退火匣钵，包括箱体、门框、门体以及若干隔板，门框固定在箱体的一端，门体可滑动地设于箱体上，通过滑动门体能够对箱体进行打开/关闭；箱体内的两侧面设有若干插槽，若干隔板可拆卸地设于插槽内，若干隔板之间形成若干可放置基板的退火槽。解决了以往氮化铝陶瓷退火制具易变形、密封性差、装片不灵活、空间利用小的问题。在保证其密封性好、气氛稳定、温场均匀、装片灵活、等特点，同时，兼顾了其不易形变，坚固耐用的功能。能大幅增加翘曲变形修正率，减少白边、白点等不良品的产生，同时也减少了抚平失效

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210180179 U (45)授权公告日 2020.03.24 (21)申请号 20192

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