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本实用新型公开了一种磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构,包括屏蔽罩、磁铁和靶材,磁铁与屏蔽罩通过若干个带滚牙螺帽紧固固定,带滚牙螺帽从屏蔽罩底部向上打入并延伸至磁铁中部,带滚牙螺帽外部设有滚牙、内部设有内螺纹,靶材设于屏蔽罩内且位于磁铁上,靶材与磁铁通过若干个紧固螺杆固定,紧固螺杆数量与带滚牙螺帽一致,紧固螺杆从靶材顶部向下拧入并延伸至带滚牙螺帽内,紧固螺杆底部的外螺纹与带滚牙螺帽内部的内螺纹完全匹配;屏蔽罩与磁铁通过带滚牙螺帽紧固,滚牙产生较大摩擦力拆卸更换时屏蔽罩不易松动脱落,无需全部拆下,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210176942 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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