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本实用新型公开了一种真空环境下应用的三自由度直线电机平台,包括高精度铝制底座,高精度铝制底座的上端面中心处横向安装有X轴直线电机模组,X轴直线电机模组和高精度铝制底座固定连接,X轴直线电机模组的动子固定连接有X轴铝制安装盖板,X轴铝制安装盖板上安装有Y轴直线电机模组,Y轴直线电机模组和X轴铝制安装盖板固定连接,且Y轴直线电机模组的动子固定连接有Y轴铝制安装盖板。本实用新型具有结构合理、操控方便,精确度高的特点,通过构建了一套可以在高真空环境中正常工作的高速精密定位平台,整体体积小、结构简单稳定、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210157067 U
(45)授权公告日
2020.03.17
(21)申请号 20192
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