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本实用新型公开了一种真空磁控旋转双面镀膜夹具,包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置;所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体,固定在真空室腔体上的步进电机及其驱动装置,焊接在真空室腔体上的中空杆件。步进电机转轴上装有齿轮,齿轮与磁铁旋转套筒通过齿轮啮合方式连接。中空杆件与真空室腔体焊接在一起,中空杆件里面有柔性钢丝绳,柔性钢丝绳上端有呈圆周分布的磁铁,可以和磁铁旋转套筒相配合实现同步旋转。所述可旋转夹具部分包括样品夹具架,在样品夹具架的左右两边相应连接有左右样品夹具,左右样品夹具可以在样品架上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210176945 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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