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本实用新型提供了电阻测量装置,其包括支架,设置在支架上的二维移动平台,所述二维移动平台上设置有夹具,所述夹具用于固定待检测物,所述二维移动平台包括X轴移动平台、Y轴移动平台,所示支架上还设置有Z轴移动机构,所述Z移动机构上设置探针座,所述探针座上设置有至少一组探针,以及探针位置调节机构,所述探针位置调节机构用于调节所述探针位置,所述支架上还设置有检测装置,所述检测装置用于检测所述探针和/或所述待检测物的相对位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210181111 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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