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本实用新型公开了一种真空镀膜溅射靶材镀穿警报装置,其特征在于,包括金属固定座,所述金属固定座中心位置设有安装孔,所述安装孔内设有靶材、环形中空气压片及冷却水铜板,所述靶材、环形中空气压片及冷却水铜板依次叠加设置在安装孔内,所述环形中空气压片外接连管,所述连管端部设有气压指示器,并通过气压指示器实时测量环形中空气压片内部的气压。本实用新型的有益效果:设计巧妙,结构合理,使用方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210176939 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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