- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型一种可视化半导体光电化学微加工装置,所述装置包括:半导体样品、光源、电解池、恒电位仪、光学斩波器、图像采集模块和电脑处理终端;所述电解池内设有参比电极和对电极,参比电极、对电极和作为工作电极的半导体样品浸泡在电解液中,所述参比电极、对电极和半导体样品均与恒电位仪电性连接;所述光源位于所述半导体样品的上方,用于照射所述半导体样品,所述光学斩波器位于所述光源和半导体样品之间;所述图像采集模块和恒电位仪均与所述电脑处理终端电性连接。本实用新型结构紧凑,实现可视化观察刻蚀过程,可扩展性强,根据
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210150713 U
(45)授权公告日
2020.03.17
(21)申请号 20192
文档评论(0)