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本实用新型公开了一种电子级高纯氯化氢制备装置，包括原料气源、第一气体压缩输送设备、干燥器、第二气体压缩输送设备、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、成品罐以及回收精馏塔。本实用新型公开的电子级高纯氯化氢制备装置，变废为宝，没有造成新的污染，减轻了环保压力，提高经济效益，与合成法比较，安全性提高，不会造成爆炸危险；与脱水法比较，安全性提高，环保压力大大降低，设备建设要求降低，行政风险降低；与复分解法比较，除安全性和环保压力提升外，后续处理难度降低，有利于产品的纯化和收益率提高，竞争力提高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210133885 U
(45)授权公告日
2020.03.10
(21)申请号 20192
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